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Bei den mikromechanischen Schaltern bilden freistehende metalisierte Zungen aus Siliziumdioxid die bewegliche Elektroden, die durch Anlegen einer Steuerspannung abgelenkt werden und der Kontakt zur festen Elektrode hergestellt wird. Hierbei gibt es verschiedene Ausführungsformen, einmal die Nieder-stromausführung für Ströme im µA-Bereich (Strom fließt direkt über die Zungenoberfläche) und dann noch die \"Hochstromausführung\" bei dem ein entsprechend aufgelegter Kontaktbügel die Verbindung für den Strom darstellt. Diese Version kann Ströme bis 1A(!!!) schalten.
Die entscheidenden Merkmale mikro-mechanischer Schalter sind schnelle Schaltzeiten (10-100µs), großes Ein-Aus-Widerstandsverhältnis (\"echter\" Schalter im Gegensatz zum Halbleiterbauteilen) und geringe Steuerleistung (Betätigungsspan-nung jedoch ca. 20V für typische Abmessungen). Die kleinen Abmessungen ermöglichen die Integration der Schalter auf dem Substrat der Steuerelektronik.
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