Die Auflösung des Deutschen Ordens durch Napoleon wurde in Österreich nicht durchgeführt und es blieben einige wenige Ordenshäuser in Wien, Graz, Friesach und Troppau bestehen. Nachdem Napoleon besiegt worden war, kamen noch die Kommenden Bozen und Lengmoos dazu. Die restlichen Gebiete blieben in den Händen der Landesfürsten und wurden nicht zurückgegeben.
Unklar war, ob der restliche Besitz des Ordens dem Kaiser gehören würde. 1834 verzichtete der Kaiser darauf und der Orden wurde als selbständige Institution wieder eingeführt. Der Papst billigte die Reform des Ordens und ab 1838 wurden wieder Ordensschwestern aufgenommen und eine Feldambulanz eingeführt. 1840 bestätigete der Kaiser die Ordensregel. Der Orden nannte sich nun offiziell "Deutscher Ritterorden". 1866 wird das Amt der Familiaren und Ehrenritter für Laien eingeführt, sie dienten zuerst als Hilfe für den Sanitätsdienst, heute arbeiten sie als Förderer und Verbreiter der Aufgaben des Deutschen Ordens.
Ab 1894 war Erzherzog Eugen von Österreich Hoch- und Deutschmeister. Er mußte lange verhandeln, um den Orden nach dem Ersten Weltkrieg vor der Auflösung zu bewahren. Schließlich trat er sogar 1923 zurück und nach ihm durften nur noch Ordenspriester Nachfolger werden. Als erster wurde Norbert Klein, Bischof von Brünn, gewählt. Er trug nur noch die Bezeichnung Hochmeister (nicht mehr Deutschmeister) und es gelang ihm, dass der Orden überall als rein geistlicher Orden und nicht als kaiserliches Lehen angesehen wurde.
Dazu wurde auch der Name von "Deutscher Ritterorden" auf "Brüder des Deutschen Ordens Sankt Marien zu Jerusalem" umgenannt. Auf Norbert Klein folgten Paul Heider und Robert Schätzky als Hochmeister.
Im zweiten Weltkrieg verlor der Orden seine Besitzungen in der Tschechoslowakei, aufgelöst wurde er aber nicht. 1947 wurde die Residenz des Hochmeisters endgültig in Wien eingerichtet. Seit 1988 ist Dr. Arnold Wieland Hochmeister des Deutschen Ordens.
Heute besteht der Orden aus drei Zweigen: Brüder, Schwestern und Familiaren. Der Orden gliedert sich bei Brüdern und Schwestern in die Provinzen Österreich, Deutschland, Italien (Südtirol), Slovenien, Tschechische und Slowakische Republik. Die Familiaren sind in Balleien aufgeteilt: Österreich, Deutschland, Südtirol, Böhmen/Mähren/Schlesien, dazu kommt noch eine Komturei in Rom.
Dem Orden gehören 120 Ordensbrüder an, die 44 Niederlassungen betreiben ( 6 in Österreich, 17 in Südtirol, 9 in Slowenien, 9 in Deutschland und 3 in der Slowakei), weiters 240 Ordensschwestern, die auf 35 Niederlassungen aufgeteilt sind ( 2 in Österreich, 15 in Südtirol, 2 in Slowenien, 9 in Deutschland und 3 in der Slowakei). Dazu kommen noch 692 Familiaren, das sind Laien, die den Orden unterstützen, aber nicht an die Mönchsgelübde gebunden sind.
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