Es gibt in der Feinwerktechnik Motoren mit 3mm Durchmesser und 11mm Länge in denen das Getriebe bereits integriert ist. Diese Motoren finden Anwendung in der Mikrorobotertechnik (Einbau in Greifer) und bei Mini-Analysegeräten (0.3 mNm; 0,5 min-1; 1:44 untersetzung; Zahnradgröße 0,5 mm).
Um eine weitere Miniaturisierung zu erreichen bedarf es der Mikromechanik, und es ergibt sich die am meisten faszinierende Anwendung der Mikromechanik, der Mikromotor. Jedoch muß hier gleich angemerkt werden, daß diese Technik eine völlig neue Art der Mikromechanik darstellt. Es handelt sich dabei um Mikrostrukturen, die Translations- oder Rotationsbewegungen ausführen. Diese relativ neue Technik ist noch völlig unausgereift. Dies zeigen die Daten des Mikromotors (links): er hat im Experiment bei 200V eine Umdrehungszahl von 150 Upm (theoret. 134*103 Upm) bei einer Lebensdauer von 1 Minute, was nur für labortechnische Auswertung interesant ist. Es ist anscheinend für Strukturen der hier verwendeten Größe (Rotor ø 120 µm, Luftspalt 2µm) für das dynamische Verhalten wichtig, die Reibungs- und Verschmutzungseffekte stärker in Betracht zu ziehen als bei Strukturen der Feinwerktechnik. Der Motor wird durch kleine Partikel zwischen Rotor und Achse beschädigt.
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